光學微電子凈化工程之界定為將一定室內空間范疇內之空氣中的浮塵顆粒、危害氣體、病菌等之空氣污染物清除,并將房間內之溫度濕度、潔凈度等級、房間內工作壓力、氣旋速度氣旋遍布、噪聲振動及照明燈具、靜電感應操縱在某一要求范疇內,而所給于非常設計方案之密閉空間。
光學微電子凈化工程亦名潔凈室或清靜室,已經是半導體材料、精密模具制造、液晶顯示屏生產制造、光學生產制造、pcb線路板生產制造和細胞生物學、藥業、食品類生產制造等制造行業必不可少的關鍵設備。近年來,因為技術性之改革創新,針對商品的高精度化、細微型化之要求更加急切,如特大型積體電路之科學研究生產制造,已變成世界各地在智能科技上極其高度重視的新項目。
光學微電子凈化工程一般包含:
1、清潔生產區
2、清潔輔助間(包含工作人員清潔用地、原材料清潔用室和一部分日常生活用室等)
3、管理區(包含辦公室、值勤、管理方法和歇息)
4、機器設備區(包含空調凈化系統應用、電氣設備用地、工業純水和高純度氣用地、熱冷機器設備用地)
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